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BHF是什么化学品

BHF 通常指的是氢氟酸含氟缓冲溶液(Buffered Hydrofluoric Acid)。它是一种含有氢氟酸和氟化铵的溶液,主要用于半导体和微电子行业的晶片表面处理和清洗。

BHF 主要具有以下特点:

1. 能够有效地去除二氧化硅、金属氧化物等材料。常用于半导体制造中的刻蚀和清洗工艺。

2. 反应速度可控、溶液稳定性好,相比纯氢氟酸更易于操作。

3. 对硅、铝、铜等材料的腐蚀速度较慢,可以有选择性地去除材料。

4. 为了提高使用安全性,一般会在氢氟酸中加入缓冲剂如氟化铵,调节pH值至4-6之间。

综上所述,BHF 作为一种常用的半导体材料刻蚀和清洗溶液,在微电子工艺中发挥着重要作用。使用时需要严格遵守相关的安全操作规程。

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